美國(guó)LAM Research公司向清華微電子所捐贈(zèng)設(shè)備并設(shè)立獎(jiǎng)學(xué)金
清華新聞網(wǎng)12月10日電 12月5日下午，美國(guó)LAM Research公司向清華大學(xué)捐贈(zèng)半導(dǎo)體工藝設(shè)備及獎(jiǎng)學(xué)金頒獎(jiǎng)儀式在清華大學(xué)微電子所舉行。儀式之后，清華大學(xué)副校長(zhǎng)姜?jiǎng)僖cLAM Research公司首席運(yùn)營(yíng)官蒂姆·阿徹（Tim Archer）一行在工字廳進(jìn)行了會(huì)談。
圖為姜?jiǎng)僖ㄓ遥┡cTim Archer（左）互贈(zèng)禮品。
姜?jiǎng)僖砬迦A大學(xué)對(duì)Tim Archer一行到訪表示歡迎，并對(duì)LAM Research公司為學(xué)校捐贈(zèng)設(shè)備和設(shè)立獎(jiǎng)學(xué)金表示感謝，同時(shí)表示雙方要進(jìn)一步拓展合作領(lǐng)域，推動(dòng)雙方合作關(guān)系不斷深化發(fā)展。Tim Archer介紹了該公司開(kāi)展半導(dǎo)體設(shè)備開(kāi)發(fā)的業(yè)績(jī)，希望與清華大學(xué)發(fā)展長(zhǎng)期友好合作關(guān)系。
儀式上，蒂姆·阿徹和清華實(shí)驗(yàn)室與設(shè)備處處長(zhǎng)武曉峰分別致辭。微納電子系系主任\微電子所所長(zhǎng)魏少軍介紹了清華大學(xué)微電子所和Lam公司的合作淵源以及此次活動(dòng)的意義。
Lam公司的亞太區(qū)總裁廖振隆為獲得Lam獎(jiǎng)學(xué)金的同學(xué)頒獎(jiǎng)。學(xué)生獲獎(jiǎng)代表進(jìn)行了發(fā)言。之后，蒂姆·阿徹一行參觀了微納電子技術(shù)支撐平臺(tái)。
圖為廖振隆（左四）為獲獎(jiǎng)學(xué)生頒發(fā)證書(shū)。
此次Lam Research公司向清華大學(xué)微電子所捐贈(zèng)的刻蝕設(shè)備為Rainbow 4420XL干法刻蝕系統(tǒng)，用于SiO、SiN等介質(zhì)的干法刻蝕。該系統(tǒng)具有自動(dòng)傳片功能，適用于8英寸硅片工藝，采用非接觸式光學(xué)方式進(jìn)行硅片的晶向?qū)?zhǔn)，陶瓷靜電卡盤由背面氦氣冷卻，主刻蝕腔接6路標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量計(jì)，并可以擴(kuò)展為8路，具有刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)功能。這設(shè)備的捐贈(zèng)將進(jìn)一步提高微納電子技術(shù)支撐平臺(tái)的工藝加工水平。
Lam Research 公司為鼓勵(lì)清華大學(xué)的學(xué)生從事半導(dǎo)體及相關(guān)設(shè)備技術(shù)之研發(fā)，以提升我國(guó)在此領(lǐng)域的科技水準(zhǔn)和培養(yǎng)優(yōu)秀科技人才，特在清華大學(xué)微電子與納電子學(xué)系設(shè)立Lam Research-清華大學(xué)微納電子論文獎(jiǎng)。參評(píng)論文的內(nèi)容與集成電路直接相關(guān)。該論文獎(jiǎng)每年評(píng)選一次，每次設(shè)一等獎(jiǎng)2篇、二等獎(jiǎng)6篇、三等獎(jiǎng)9篇。2013年共獎(jiǎng)勵(lì)17名論文上有突出成績(jī)的研究生。
美國(guó)LAM Research是國(guó)際最大的半導(dǎo)體設(shè)備公司之一，以半導(dǎo)體薄膜的制備、刻蝕和清洗設(shè)備而知名。
清華大學(xué)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備處、教育基金會(huì)、微電子所等相關(guān)部門負(fù)責(zé)人參加了儀式。
供稿：微電子所 編輯：范 麗
