國家科技重大專項“光刻機雙工件臺系統(tǒng)樣機研發(fā)”項目通過內部驗收

　　清華新聞網2月2日電 1月29-30日，國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡稱02專項）實施管理辦公室在清華大學組織召開了“光刻機雙工件臺系統(tǒng)樣機研發(fā)”項目的專項內部驗收會。

　　項目由清華大學承擔，機械工程系朱煜教授擔任項目負責人，項目總經費2.23億元。該項目以研制光刻機雙工件臺系統(tǒng)樣機為目標，為我國自主研發(fā)65-28nm雙工件臺干式及浸沒式光刻機提供具有自主知識產權的核心子系統(tǒng)。該項目聯(lián)合了華中科技大學、上海微電子裝備有限公司和成都工具所3家單位，下設10個課題，清華大學機械工程系、精密儀器系和材料學院分別承擔了其中6個課題，機械工程系IC裝備團隊承擔了樣機集成研發(fā)等核心任務。

光刻機雙工件臺項目內部驗收會現場。劉 峰 攝

　　驗收專家組由相關領域22名技術專家和財務專家組成，02專項咨詢專家委員會主任馬俊如研究員擔任任務驗收專家組組長。02專項技術總師葉甜春研究員、清華大學科研院院長周羽教授、機械工程學院院長雒建斌院士及財務處相關負責人出席了驗收會。

驗收組專家在清華大學IC裝備研究室凈化間實地考察研發(fā)的光刻機工件臺樣機。劉 峰 攝

　　驗收會上，專家組認真聽取了項目及各課題負責人關于項目及課題完成情況的匯報、用戶代表上海微電子裝備有限公司對項目樣機測試驗證的報告和現場測試專家組的測試報告，審閱了驗收材料和財務資料。經過充分討論、質詢和評議，專家組一致同意該項目通過內部任務驗收和財務驗收。

　　驗收專家組認為，項目研究團隊針對光刻機雙工件臺技術，歷經5年完成了任務合同書的全部研究內容，突破了平面電機、微動臺、超精密測量、超精密運動控制、系統(tǒng)動力學分析、先進工程材料制備及應用等若干關鍵技術，攻克了光刻機工件臺系統(tǒng)設計和集成技術，通過多輪樣機的迭代研發(fā)，最終研制出2套光刻機雙工件臺掩模臺系統(tǒng)α樣機，并通過了相關測試，達到了預定的全部技術指標。圍繞雙工件臺技術完成專利申請231項（其中國際發(fā)明專利41項），已獲得授權122項。培養(yǎng)了一支近200人的專業(yè)研發(fā)團隊，建立了高水平研發(fā)平臺，為后續(xù)產品研發(fā)和產業(yè)化打下了堅實的基礎。 專家認為，該項目的完成，標志著我國成為世界上少數可以研制光刻機雙工件臺這一超精密機械與測控技術領域最尖端系統(tǒng)的國家，顯著提升了我國在高端光刻機這一戰(zhàn)略高科技產品研發(fā)方面的競爭能力。

　　專家認為，該項目的完成，標志著我國成為世界上少數可以研制光刻機雙工件臺這一超精密機械與測控技術領域最尖端系統(tǒng)的國家，顯著提升了我國在高端光刻機這一戰(zhàn)略高科技產品研發(fā)方面的競爭能力。

　　該項目是02專項核心任務光刻機項目群中第一個驗收的項目。項目將在近期由02專項實施管理辦公室組織正式驗收。

供稿：機械工程系 編輯：襄樺